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Verfahren zur Chip-Herstellung - Deutscher Zukunftspreis für EUV-Lithografie

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Projekte zu den Themen Mikrochirurgie, Lithografie und Gebäudedämmung waren im Rennen um den Zukunftspreis 2020. Gewonnen hat die Auszeichnung das Team EUV-Lithografie.

Deutscher Zukunftspreis
Deutscher Zukunftspreis 2020: Er geht an ein Forscherteam aus Oberkochen für die EUV-Lithografie.
Quelle: ZDF

Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier hat am Abend den mit 250.000 Euro dotierten Zukunftspreis, eine renommierte Auszeichnung für durchschlagende Forschungsneuerungen in Naturwissenschaft und Technik, verliehen.

Dr. rer. nat. Peter Kürz (Sprecher), Dr. rer. nat. Michael Kösters, Dr. rer. nat. Sergiy Yulin
Dr. rer. nat. Peter Kürz (Sprecher), Dr. rer. nat. Michael Kösters, Dr. rer. nat. Sergiy Yulin
Quelle: Ansgar Pudenz

Preisträger 2020 sind Dr. Peter Kürz und sein Forschungsteam aus Oberkochen in Baden-Württemberg. Die Wissenschaftler entwickelten ein neues optisches System, das die Chip-Herstellung revolutioniert. Um heutzutage den Bedarf an Daten zu stillen - bei Smart-Homes, Hochleistungsrobotern oder autonomen Fahrzeugen - bedarf es leistungsstarker Mikrochips.

Das Team hat eine Technologie ausgearbeitet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit extrem feinen Strukturen fertigen lassen. Sie machten die Methode der optischen Lithografie fit für die Nutzung von extremem UV-Licht, dem sogenannten EUV. Die neuartige EUV-Lithografie kann im Gegensatz zur bisher etablierten Lithografie in viel winzigeren Dimensionen arbeiten, etwa in der Größenordnung von wenigen Nanometern. Das entspricht einem Zehntausendstel der Dicke eines menschlichen Haars.

Roboterhilfe bei der Mikrochirurgie

"Deutscher Zukunftspreis 2020": Die drei Männer aus Team 2 des Deutschen Zukunftspreises stehen, freundlich lächelnd,  nebeneinander in einer Art Operationssaal.
Prof. Dr. med. Andreas Raabe; Dr.-Ing. Michelangelo Masini und Frank Seitzinger haben ein Robotisches Visualisierungssystem für die Mikrochirurgie entwickelt.
Quelle: ZDF/ansgar pudenz

Unter die Top 3 des Zukunftspreises gelangte auch Professor Andreas Raabe. Er und seine Mitarbeiter haben ein robotisches Visualisierungssystem konstruiert, das Chirurgen als Assistenz bei Mikro-Eingriffen wichtige Dienste leistet.

Vor allem bei Operationen an Wirbelsäule oder Gehirn kann das Gerät den Operierenden entlasten, neuartige Einblicke in den Körper gestatten ("erweiterte Realität") und noch während des Eingriffs wichtige Informationen für Entscheidungen liefern. So verlaufen Operationen kürzer und schonender.

Dämmkonzept, das beim Klimaschutz hilft

Dipl.-Ing (FH) Friedbert Scharfe (Sprecher), Prof. Dr.-Ing. Thorsten Gerdes, Dr. rer. nat. Klaus Hintzer
Dipl.-Ing (FH) Friedbert Scharfe (Sprecher), Prof. Dr.-Ing. Thorsten Gerdes, Dr. rer. nat. Klaus Hintzer haben einen Dämmstoff aus kleinen Glaskugeln entwickelt.
Quelle: Ansgar Pudenz

Außerdem im Rennen waren Friedbert Scharfe und sein Team. Sie haben ein neuartiges Dämmsystem entwickelt, das hilft, Häuser und Gebäude zu isolieren und dabei gleichzeitig etwas für den Klimaschutz tut. Denn wer Treibhausgase eindämmen und den Energieverbrauch reduzieren möchte, der muss sich um eine passende Wärmedämmung kümmern.

Das Dämmkonzept beruht auf winzigen Hohlkugeln aus Glas. Das daraus entwickelte System hat eine besonders gute wärmeisolierende Wirkung und lässt sich leicht verarbeiten. Es ist ein "mineralischer Klebestoff", robust, flexibel einsetzbar und nach Ende der Nutzungsdauer recyclebar.

Die Nominierten des Deutschen Zukunftspreises 2020 für Technik und Innovation stehen fest. Ihre Arbeiten beschäftigen sich mit EUV-Lithographie, Mikrochirurgie und Fassadendämmung. Das ZDF ist seit der ersten Verleihung 1997 als Medienpartner mit dabei.

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