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Deutscher Zukunftspreis - EUV-Lithographie

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EUV-Lithographie
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    Deutscher Zukunftspreis
    EUV-Lithographie
    • 22.11.2020

    Durch die Entwicklung der EUV-Lithographie – einer innovativen Technologie, die auf ultraviolettem Licht basiert. Das Team hat es geschafft, Mikrochips herstellen zu können, deren Leistungsfähigkeit weit über das bisher Mögliche hinausreicht.

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    EUV-Lithographie
    • 22.11.2020
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    Durch die Entwicklung der EUV-Lithographie – einer innovativen Technologie, die auf ultraviolettem Licht basiert. Das Team hat es geschafft, Mikrochips herstellen zu können, deren Leistungsfähigkeit weit über das bisher Mögliche hinausreicht.

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    Dr. rer. nat. Peter Kürz (Sprecher), Dr. rer. nat. Michael Kösters, Dr. rer. nat. Sergiy Yulin
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